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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:凈化旋涂儀帶加熱臺(tái)

  • 產(chǎn)品型號:CY-SPC4-SS-JH
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
凈化型勻膠機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時(shí),可用此設(shè)備進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠; 是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個(gè)工位的勻膠臺(tái),可分別獨(dú)立工作,也可兩臺(tái)同時(shí)工作
詳情介紹:

凈化型勻膠機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時(shí),可用此設(shè)備進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠; 是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個(gè)工位的勻膠臺(tái),可分別獨(dú)立工作,也可兩臺(tái)同時(shí)工作

凈化旋涂儀

凈化型勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

凈化旋涂儀帶加熱臺(tái)

產(chǎn)品型號

CY-SPC4-SS-JH

勻膠機(jī)

電源電壓

AC220V, 50Hz

旋轉(zhuǎn)速度

0~9999rpm, adjustable

加速度

100~5000rpm/s

速度分辨率

1rpm

時(shí)間分辨率

1s

單步時(shí)間

3000s

基片尺寸

直徑≤4英寸(100mm

腔體材質(zhì)

亞克力

操作方式

按鍵+液晶屏

點(diǎn)膠方式

手動(dòng)點(diǎn)膠,可選精密注射泵

勻膠曲線

每條曲線5段,共可存儲(chǔ)5條曲線

抽氣口

φ6mm快擰接口

真空吸盤

直徑10mm, 25mm, 55mm

整體尺寸

210mm×250mm×180mm

加熱板

加熱板尺寸

150*150mm

加熱溫度

RT~300C

溫度分辨率

0.1C

控溫精度

±1C

溫度均勻性

<±2C

電源

AC220V, 50Hz

凈化柜

尺寸

800*680*1700mm

內(nèi)部布局

內(nèi)部左側(cè)放4英寸亞克力腔體勻膠機(jī),右側(cè)放加熱板

凈化等級

美國標(biāo)準(zhǔn)100%

照明

內(nèi)置LED照明燈

排氣系統(tǒng)

真空泵

干式機(jī)械泵

抽氣速率

50L/min

電源

AC220V, 60Hz


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號